三井化学は５月31日、半導体露光機のグローバルトップメーカーであるオランダのＡＳＭＬ社と、ＥＵＶ対応ペリクル事業の独占ライセンス契約を締結したと発表した。同日開催の経営概況説明会で淡輪敏社長が明らかにした。
これにより、ＥＵＶペリクルの生産権と生産販売権を取得し、同社は山口県の岩国大竹工場内に生産設備を新設し、２０２０年第２四半期の完工、２０２１年の営業運転開始を目指す。
淡輪社長は、「当面、当社が独占的にＥＵＶペリクルを供給することとなる」と述べ、先端領域でのペリクルのトップメーカーを目指すことを説明した。
同社は、半導体の製造において
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