技術・品質で勝負するゴムメーカー
金星ゴム工業
半導電フッ素ゴムを本格的販売へ
高付加価値で高品質のゴム押出成形の製造を得意とする金星ゴム工業(東京都墨田区、杉本浩志社長)。
同社が手掛けるゴム製品のなかでも、フッ素ゴムに関わるリングパッキン、ゴムチューブなどの製造や押出加工は、同社が得意とする分野だ。
同社はこのたび、半導電フッ素ゴムを開発し、本格的に販売を開始した。
最近の傾向として、半導体製造装置業界ではESD(静電気放電)対策に、静電気拡散性材料の使用が求められ、その中でも、電気抵抗率(体積固有抵抗値)10の5乗~9乗(Ω・cm)の材料が最適とされている。この値に適応する材料を半導体製造装置メーカーが挙って探しているのが現状だという。
この現状を受け、同社はアウトガスが少なく、耐薬品性に優れているフッ素ゴムをベースに、電気抵抗率10の7乗±2乗(Ω・cm)の半導電フッ素ゴムを開発する運びとなった。
以前から、同社では導電性フッ素ゴムを販売していたが、電気抵抗率10の4乗~10の6乗(Ω・cm)で誘電する可能性がある領域に入っていたという。そこで、杉本社長は「何とか静電気拡散性領域のフッ素ゴムが作れないかと考え、研究や試作を重ねた結果、1年かけてようやく電気抵抗率10の7乗(Ω・cm)で安定する材料を作り上げた」と開発経緯について述べている。
材料ラインナップは、押出用材料KV‐7528Sと成型用材料KV‐7528SPの2種となり、押出製品やプレス成型品の両方に対応していく。半導電
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