日本ゼオンは６月25日、同社が開発した次世代電子部品向けポジ型電子線レジストが、電子デバイス産業新聞主催の「半導体・オブ・ザ・イヤー２０２０」で半導体電子材料部門で優秀賞を受賞したと発表した。
今回、受賞対象となった電子線レジスト「ＺＥＰ５３０Ａ」は、従来品より優れた解像度に加え、ドライエッチング耐性や広いプロセスマージンを有しており、薄膜化により、ハーフピッチ（ｈｐ）17ｎｍのレジストパターンの解像が確認されている。
同社は、主鎖切断型のポジ型電子線レジストのＺＥＰシリーズを国内外に展開しているが、次世代電子部品向けに開発され、昨年上市された同製品は、５Ｇ（第５世代移動通信システム）時代の本格的な到来を前に既に量産が開始されており、顧客から好評を得ている。
「半導体・オブ・ザ・イヤー」は、電子デバイス産業新聞の主催により、ＩＴ産業を支える最先端の製品・技術を表彰し、半導体業界のさらなる発展に寄与することを目的として、１９９４年から毎年開催されている。
なお、授賞式・表彰式は例年、ＪＰＣＡ Ｓｈｏｗ「電子機器トータルソリューション展」会場内で開催されているが、今年は新型コロナウイルスの感染拡大が懸念されることから、開催は中止となった。
同社グループは今後も、独自で培った技術を更に発展させながら、新たな時代のニーズに応えるよう努めていくとしている。
走査型電子顕微鏡による上面観察写真
関連キーワード: 日本ゼオン
