ダイセルがナノひっつき虫ＴＭで　半導体・オブ・ザ・イヤー優秀賞

　ダイセルは６月７日、同社が開発した、エッチング液からシリコン窒化膜を保護する保護材料「ナノひっつき虫ＴＭ」が、電子デバイス産業新聞が主催する半導体・オブ・ザ・イヤー２０２３半導体電子材料部門の「優秀賞」を受賞し、５月31日に授賞式とプレゼンテーションが行われたと発表した。
　今年で29回目を迎える「半導体・オブ・ザ・イヤー」は、電子デバイス産業新聞が毎年開催しているもので、半導体デバイス、半導体製造装置、半導体用電子材料、の３部門で、製品・技術の新規性、半導体業界に与えたインパクト、将来性などを基準に、同新聞記者の投票によって受賞製品・技術が選定される。
　「ナノひっつき虫ＴＭ」は、天然由来のセルロースを原料にした同社オリジナルの水溶性樹脂を主成分とするシリコン窒化膜選択的な吸着材料となる。半導体の製造工程で使用するシリコン窒化膜に特異的に「ひっつき」、エッチング液と呼ばれる強酸の水溶液からシリコン窒化膜を保護する。
　一方でシリコン酸化膜には作用せず、エッチング加工の生産性に悪影響を与えない。すなわち、ナノひっつき虫ＴＭにより、エッチング選択比を改善することが可能になった。
　半導体をより一層微細化・高積層化していく上で、加工プロセスのエッチング選択比は極めて重要な要素となる。今回は、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜のエッチング選択比を改善できる新しい手法であることが高く評価された。

ナノひっつき虫 （緑）がシリコン窒化膜に選択的に付着するイメージ図