半導体露光材料で新拠点 信越化学、伊勢崎市に26年建設

2024年04月12日

ゴムタイムス社

 信越化学工業は、半導体露光材料事業の拡大に向け、4つ目の拠点の工場を群馬県伊勢崎市に建設することを決定した。同市内に約15万㎡の事業用地を取得し、その用地に半導体露光材料の製造及び開発拠点を建設する。新工場の建設地については、複数の候補地を検討した結果、群馬県および同県伊勢崎市の斡旋も受け、用地を選定した。新工場における投資を段階的に実施する計画で、第一期の投資は26年までの完工を目指します。
 なお、投資金額は第一期完工の段階で、事業用地の取得も含め約830億円を見込み、全て自己資金で賄う。
 同社は1997年にフォトレジスト事業を立ち上げ、直江津工場(新潟県)で当時の最先端のKrFフォトレジストの生産を開始した後、フォトマスクブランクス、ArFレジスト、多層膜材料、EUVレジストなどの半導体露光材料を相次いで開発に成功し事業化した。2016年には同事業の第2の生産拠点を福井県に、2019年には第3の生産拠点を台湾雲林県に設け、製品の安定供給を果たしてきた。
 半導体露光材料は、先端半導体の製造に不可欠な材料として需要が伸長しており、品質への要求も高度化し続けている。顧客からの強い要請に応えるため、事業継続の観点からもリスク分散を図ることが可能な第四4の生産拠点の新設を決定。半導体材料の先進拠点として位置付け、将来は研究開発を含む半導体露光材料ほかの拠点として拡大させていく。

技術セミナーのご案内

ゴムタイムス主催セミナー