三菱ケミカルグループの新菱は11月11日、半導体精密洗浄事業において、福島工場を新設し、岩手工場を増強することで、半導体製造装置などのパーツ洗浄の能力を拡大することを決定したと発表した。いずれも２０２６年10月の稼働を予定している。
半導体精密洗浄事業では、半導体製造装置メーカーや半導体デバイスメーカーに対して、パーツ洗浄サービスを提供している。同社グループの精密洗浄技術は、パーティクル（塵、埃）や金属不純物などナノ単位の汚れをきめ細かく除去し、必要に応じてパーツの表面を改質することで、半導体製造の歩留りを向上させ、廃棄パーツの削減および環境負荷低減に貢献している。また、使用済みパーツだけでなく新品パーツも洗浄することで、半導体製造装置の初期稼働不良の低減にも貢献する。
近年の半導体市場の拡大に伴い、パーツ洗浄の需要も拡大していることから、このたびの能力拡大を決定した。
福島工場（新設）の所在地は、福島県郡山市待池台２ー１、岩手工場（既存工場の増強）の所在地は、岩手県一関市東台14ー64、稼働時期は、どちらも２０２６年10月（予定）となる。
同社グループは、半導体製造工程においてさまざまな材料およびサービスをラインナップしており、引き続き高品質かつ安定的な供給を行なうことで半導体業界に貢献していく。
パーツ洗浄のイメージ
精密洗浄クリーンルームのイメージ
