ゴムタイムス社 ニッタ ウォーターベース凝縮粒子カウンタの販売を開始 2017年6月2日 13時 ニッタは６月１日、米国ＴＳＩ社製ウォーターベース凝縮粒子カウンタ「エアロトラック９００１」の販売を同日から開始したと発表した。 微細化が進む半導体製造プロセスでは、ナノ粒子汚染による製造阻害が大きな課題となっている。そこで、ＴＳＩ社は高清浄度環境での粒子汚染度の把握というニーズに応え、ウォータ……
