ゴムタイムス社 半導体基板の保護液剤を開発 ダイセル、オリジナル樹脂含有 2022年10月31日 17時 ダイセルは10月27日、半導体製造工程で多用されるフッ酸などのエッチング液から、半導体基板を保護する材料の開発に成功し、その成果を米国アリゾナ州フェニックスで開催された半導体ウェットプロセスに関する著名な国際学会「ＴＨＥ ＳＵＲＦＡＣＥＰＲＥ ＰＡＲＡＴＩＯＮ ＡＮＤ ＣＬＥＡＮＩＮＧ ＣＯＮＦＥＲ……
