ゴムタイムス社 ダイセルがナノひっつき虫ＴＭで 半導体・オブ・ザ・イヤー優秀賞 2023年6月8日 12時 ダイセルは６月７日、同社が開発した、エッチング液からシリコン窒化膜を保護する保護材料「ナノひっつき虫ＴＭ」が、電子デバイス産業新聞が主催する半導体・オブ・ザ・イヤー２０２３半導体電子材料部門の「優秀賞」を受賞し、５月31日に授賞式とプレゼンテーションが行われたと発表した。 今年で29回目を迎える「……
ゴムタイムス社 ダイセルが科学雑誌に掲載 ナノひっつき虫ＴＭの研究成果で 2023年5月16日 11時 ダイセルは５月15日、同社が開発した、エッチング液からシリコン窒化膜を保護する保護材料「ナノひっつき虫 ＴＭ」に関する研究成果が、科学雑誌「Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ」に２０２３ 年５月１日付で掲載されたと発表した。 天然由来のセルロースを原料にした同社オリジナルの水溶……
