ゴムタイムス社 次世代ペリクル生産設備 三井化学、大竹工場に設置 2024年5月30日 10時 三井化学は５月28日、半導体の更なる微細化、生産性向上に不可欠な次世代の高ＮＡ、高出力ＥＵＶ露光装置に対応したＥＵＶ露光用ＣＮＴ（カーボンナノチューブ）ペリクルの生産設備を同社岩国大竹工場に設置することを決定したと発表した。 三井ペリクルとは、半導体ウェハーに光を照射して回路パターンを描くフォト……
ゴムタイムス社 ペリクルで蘭企業と契約 三井化学、岩国に新設備 2019年6月3日 14時 三井化学は５月31日、半導体露光機のグローバルトップメーカーであるオランダのＡＳＭＬ社と、ＥＵＶ対応ペリクル事業の独占ライセンス契約を締結したと発表した。同日開催の経営概況説明会で淡輪敏社長が明らかにした。 これにより、ＥＵＶペリクルの生産権と生産販売権を取得し、同社は山口県の岩国大竹工場内に生……
