ゴムタイムス社 東レリサーチセンターが開発 走査型近接場ラマン分光装置 2021年9月1日 8時 東レリサーチセンターは８月31日、堀場製作所の協力のもと、現在の光学限界を超えた空間分解能を持つ実用的な走査型近接場ラマン分光装置を開発したと発表した。同装置を用いることにより、パワー半導体上の局所部における応力歪み解析が、世界初、約１００ナノメートルの空間分解能で行うことが可能となった。 ラマ……
