ゴムタイムス社 三菱ケミが量産設備新設 リソマックスの生産能力増強 2024年6月13日 11時 三菱ケミカルグループは6月12日、フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」の生産能力を増強するため、福岡県北九州市の同社九州事業所・福岡地区において、ArF(フッ化アルゴン)フォトレジスト用リソマックスおよび EUV(極端紫外線)フォトレジスト用リソマックスの各量産設備を新設することを決定し……