ゴムタイムス社 電子線レジストを上市 日本ゼオンが新グレード 2019年8月22日 11時 日本ゼオンは８月２日、次世代電子部品向けポジ型電子線レジストの新グレード「ＺＥＰ５３０Ａ」シリーズを上市したと発表した。 同社は、半導体デバイスの回路パターンをウェハー上に転写する際に使用される保護膜として、かねてより主鎖切断型のポジ型電子線レジストＺＥＰシリーズを展開し、国内外から広く採用さ……
ゴムタイムス社 セミコンジャパン２０１２が開幕 半導体先端技術が一堂に集結 2012年12月10日 9時 世界最大の半導体製造装置・材料の総合展示会「セミコンジャパン２０１２」が千葉幕張メッセで12月５日から７日の３日間開催された。半導体に関わる製品や先端技術が一堂に集まった。 ブリヂストン 化合物半導体製造用治具ＣＳシリーズを紹介。同製品は全て超高純度ＳｉＣで構成されたバルク体で、高い耐久性を誇る。……
