ゴムタイムス社 PTFEへ銅微細配線形成 芝浦工大の大石教授が開発 2020年4月9日 10時 芝浦工業大学は3月31日、同大学工学部応用化学科の大石知司教授が、フッ素樹脂上への簡便な銅微細配線形成技術を開発したと発表した。 同技術は、撥水性で他材料との接合が難しいフッ素樹脂への銅微細配線形成を可能とするもの。大がかりな装置を使わずプロセスも簡便なため、配線形成を低コスト化できる。フッ素樹……