ゴムタイムス社 ＥＵＶペリクル商業生産開始 三井化学、ＡＳＭＬ社と契約 2021年5月27日 13時 三井化学は５月26日、ＥＵＶペリクルの商業生産を開始したと発表した。同社は半導体リソグラフィー分野で世界ナンバーワンのＡＳＭＬ社から同ＥＵＶペリクル事業のライセンス契約を受け、その設計と技術に基づき同製品の生産設備を同社岩国大竹工場内に新設、今回、世界に先駆けて商業生産を行う。 第５世代移動通信……
ゴムタイムス社 ペリクルで蘭企業と契約 三井化学、岩国に新設備 2019年6月3日 14時 三井化学は５月31日、半導体露光機のグローバルトップメーカーであるオランダのＡＳＭＬ社と、ＥＵＶ対応ペリクル事業の独占ライセンス契約を締結したと発表した。同日開催の経営概況説明会で淡輪敏社長が明らかにした。 これにより、ＥＵＶペリクルの生産権と生産販売権を取得し、同社は山口県の岩国大竹工場内に生……
