ゴムタイムス社 三井化学、ペリクル事業推進 三井化学ＥＭＳが営業開始 2023年7月5日 12時 三井化学は７月４日、同社の関係会社である三井化学ＥＭＳが、本年７月１日に設立、営業を開始したことを発表した。 旭化成よりペリクル事業を引き継ぎ誕生した三井化学ＥＭＳは、液晶パネルの露光工程で使用するＦＰＤペリクルのＮｏ・１プレイヤーで、半導体露光工程に使用するＤＵＶペリクルにおいても、先端領域……
ゴムタイムス社 ＥＵＶペリクル商業生産開始 三井化学、ＡＳＭＬ社と契約 2021年5月27日 13時 三井化学は５月26日、ＥＵＶペリクルの商業生産を開始したと発表した。同社は半導体リソグラフィー分野で世界ナンバーワンのＡＳＭＬ社から同ＥＵＶペリクル事業のライセンス契約を受け、その設計と技術に基づき同製品の生産設備を同社岩国大竹工場内に新設、今回、世界に先駆けて商業生産を行う。 第５世代移動通信……
