ゴムタイムス社 レゾナック、日経優秀製品受賞 6インチSiC単結晶基板 2023年1月18日 10時 レゾナックは1月4日、同社の6インチ(150mm)SiC単結晶基板が、「2022年日経優秀製品・サービス賞 最優秀賞」を受賞したと発表した。 同社は、SiCパワー半導体に不可欠なSiCエピタキシャルウェハー(SiCエピウェハー)の量産を2009年に始めた。特性均一性、低欠陥密度などの優れた品質……