ゴムタイムス社 東レリサーチセンターが開発 ＳＮＯＭラマン分光装置 2023年3月15日 11時 東レリサーチセンターは３月13日、堀場製作所の協力のもと、１００ナノメートルの高い空間分解能を持つ新しい近接場ラマン顕微鏡（ＳＮＯＭラマン分光装置）を開発し、次世代のパワー半導体として期待されている、炭化シリコン（ＳｉＣ）製デバイスの性能に大きな影響を及ぼす残留応力について、従来比、約10倍の高い精……
