ＺＥＰ５３０Ａ

電子線レジストを上市　日本ゼオンが新グレード

2019年8月22日 11時

日本ゼオンは８月２日、次世代電子部品向けポジ型電子線レジストの新グレード「ＺＥＰ５３０Ａ」シリーズを上市したと発表した。 　同社は、半導体デバイスの回路パターンをウェハー上に転写する際に使用される保護膜として、かねてより主鎖切断型のポジ型電子線レジストＺＥＰシリーズを展開し、国内外から広く採用さ……